二手 SEMITOOL SAT 111 (25 08) 0U #293628381 待售

SEMITOOL SAT 111（25 08） 0U是一種專為晶圓清潔和塗層而設計的全自動光刻設備。該系統既適用於大批量生產，也適用於原型生產。它提供了緊密集成的基板處理，蝕刻，和後塗層工藝，一個全面的解決方案，以抵抗塗層工藝。SAT 111利用先進的計算機控制系統前置傳感和處理、邊緣控制、配方管理和主控制。它的主要特點包括一個自動對焦裝置，以保持一致的圖像質量，一個能夠處理直徑達200毫米的基板的單熱卷對卷工藝，以及先進的烘烤控制和溫度監測系統。這種抗蝕劑的化學設計可以在很寬的晶圓尺寸範圍內提供均勻的抗蝕劑覆蓋.自動晶圓處理機提供可靠的基板運輸。刀具的邊緣控制可確保均勻的邊緣曝光,從而提高邊緣給藥精度。它的高級配方管理資產允許用戶快速選擇任何晶圓大小範圍的配方。烘烤控制模型旨在提供準確的熱力圖,以提高性能和質量。SAT 111還配備了專用的邊緣提取設備。該系統消除了手動操作,並提供準確的邊緣檢查性能。該裝置還設有斜坡保護機器，可防止損壞未受保護的基板。除了自動化功能外,SAT 111還提供一系列安全功能。它是為了遵守嚴格的安全標準而建造的，包括防震和電流過大監控器。該工具還提供了增強的監測選項，包括溫度記錄和頻率監測。它還提供了一個直觀的用戶界面，引導用戶完成整個過程。SEMITOOL SAT 111（25 08） 0U是一種功能強大且可靠的光刻膠資產,旨在滿足晶圓清潔和塗層的苛刻需求。SAT 111具有自動化晶片處理、先進配方管理和烘烤控制,以及高安全標準,為光刻塗層工藝提供了全面的解決方案,非常適合大批量生產和原型生產。