二手 SEMITOOL SAT 20605 #293830238 待售

SEMITOOL SAT 20605是一種最先進的光阻處理設備，旨在為半導體晶片和基板的加工提供精確、可靠、經濟高效的解決方案。該系統旨在通過旋轉塗層和後烘烤、圖像傳輸、曝光、幹濕蝕刻、電鍍和剝離等多種技術處理晶片。整個單元被安置在四個獨立的主要模塊中，以實現最高的效率和易用性。機器的核心是抗蝕劑處理器模塊，用於以均勻的模式向晶片輸送光抗蝕劑，使其暴露在光線下，並在處理後開發抗蝕劑。處理器模塊包含四個工作站以及處理晶片所需的其他一些工具和組件。第一站由一個自旋塗層和相關的加熱元件組成，這些加熱元件用於將光刻膠均勻地散布到晶片上，並用後烘烤抗蝕劑來固化。第二個工作站包含一個掩模對齊器，用於將晶片暴露於光照模式，並將掩模精確地放置在自旋塗層晶片上。第三個工作站包括一個圖像檢測器，用於監測和調整光強度，以及一個基板用於曝光後烘烤。第四站包含一個塑料樹脂機械手和一些其他部件用於濕法加工晶片。在光阻處理和成像之後，晶片被移動到帶狀模塊，以進行導電膜的濕化學和電鍍。模塊的外觀與Resist Processor相似，但內部包含化學控制，以便在電鍍前根據需要預先清潔和蝕刻矽片。該工具還包括用戶可調節的電鍍參數，如電流密度和耗盡。帶狀模組還包含幾種額外的濕處理工具，如加熱沖洗站、噴塗抗剝離機、非氯化有機溶劑和氫氧化銨處理。所有這些工具都設計為提供一整套清潔、蝕刻和電鍍功能。資產中的第三個模塊是真空模塊，它提供了處理玻璃和聚酰亞胺等更細膩的晶圓基板的能力。這個模塊是模型中最先進的，利用了許多不同的技術，包括真空固化、結合配體、軟烘烤和曝光。模塊包含一個真空室、許多其他組件和工具,以及用於檢查基板的查看窗口。最後,該模塊包括控制模塊,其中包含控制和監視設備所需的軟件和硬件。控制模塊包括三個獨立的控制系統,這些系統用於監視工藝階段、系統溫度和限制。它還包括許多功能,例如數據日誌記錄、維護警報、配方創建和控制以及警報通知。綜上所述，SAT 20605光阻裝置的設計目的是為以經濟高效的方式處理晶片提供可靠的解決方案。它由四個互連模塊組成，每個模塊都有自己的組件和功能，並配有一個全面的控制模塊，提供一個統一且易於使用的過程控制機器。