二手 SEMITOOL SAT 2060D #151789 待售

SEMITOOL SAT 2060D光敏設備是一種緊湊、經濟高效的光敏處理解決方案,非常適合商業、實驗室和研究應用。該系統能夠提供精確的濕式清潔步驟和先進的抗後烘烤步驟。該單元易於使用、操作和維護,采用全自動配方驅動的方法以提供一致和可靠的結果。SAT 2060D采用雙軌設計,可實現更高的吞吐量生產。雙軌設計還允許更大的進入晶圓載波區域，有助於人體工程學和操作員安全。機器使用APC（高級過程控制）來精確控制加熱和冷卻坡道速率,以確保精確的計時和溫度,這有助於確保每次給定運行的結果一致且可重復。該工具還內置了自我診斷和配方編程，確保了一致和可靠的性能。該資產采用兩個獨立的晶片載波進行兩個獨立的過程，這是理想的多步抵抗條帶操作。該型號提供了四組不同的標準設備配置（每個周期3個、5個或8-Modules個）或標準8-Module配置（附加選件模塊）的選擇。SEMITOOL SAT 2060D使用先進的SCADA（監督控制和數據采集）技術來提高數據收集精度、過程控制和警報監控。該系統具有可重復使用或一次性晶片載體的選擇，並提供精確的濕式清潔工藝、端點讀數、晶片位置調整和後耐火烘烤工藝步驟。它能夠每小時運行多達1,500個晶圓,具體取決於配置。還可以選擇各種化學品，包括稀氫氟酸（HF）和硫酸（H2SO4）溶液。SAT 2060D具有廣泛的特性和靈活性,非常適合各種光刻膠處理應用。短周期時間、精確的端點讀數和晶圓位置調整使其成為商業、實驗室和研究應用的理想選擇。該裝置能夠在每次運行時提供一致和可靠的結果，使其成為一個令人難以置信的可靠的光刻機，提供精確，可靠性和成本效益。