二手 SEMITOOL SAT 2080S #9134041 待售

SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipment是一種亞微米級濕蝕刻系統,旨在幫助制造商精確蝕刻半導體器件。該單元由軟件界面自動控制,使蝕刻過程簡單、準確。機器由一個中央控制面板、兩個光刻噴射器和一個用於對準晶片的基板支架組成。此外，它還配備了一條帶有幾個噴嘴的單一氣體管線，為蝕刻室提供反應性氣體，以及精確的壓力和流量控制模塊。光致抗蝕劑-註射器用於將精確量的光致抗蝕劑以基於器件尺寸和形狀的最佳模式直接分配到晶片上。光致抗蝕劑施用後，再暴露於一個光源，用於激活特定區域的光致抗蝕劑。然後將未曝光的光刻膠蝕刻掉，留下與使用的光源相對應的圖案。然後將晶片放置在基板支架上，在基板支架上有一個可調節的高度，以確保對晶片施加精確的壓力。可調高度和壓力控制提供了優化的蝕刻工藝與低物理應力的基板。此外，在蝕刻之前可以在基板上塗上清潔和防反射塗層，以確保最佳的表面條件和減少扭曲。氣線連接到整個工具，為蝕刻室提供反應性氣體。這種氣管提供一致和可靠的流動分布和均勻暴露於蝕刻室.此外，該資產還包括壓力和流量控制模塊，這些模塊有助於準確控制反應性氣體流向腔室，確保整個蝕刻過程準確無誤。最後，中央控制面板允許操作員監控整個型號。此面板配備了快速啟動序列,以及狀態、診斷和診斷歷史記錄讀數。面板上的圖形用戶界面使得設備的設置和維護對於操作員來說既簡單又高效。SAT 2080S Photoresist System是一種精密、精密的半導體器件蝕刻工具。憑借其集成的組件和控件，這一單元是全球制造商的理想解決方案。