二手 SEMITOOL SAT 2080S #9210337 待售

SEMITOOL SAT 2080S光刻設備是一種在半導體工業中廣泛使用的高性能、高容量光刻系統。該單元通過滿足最具挑戰性的規範和要求,提供最大產量,並實現可重復的流程流程。這臺機器使用最先進的雙波長掃描和步進重復曝光功能來滿足先進和未來晶體管技術所要求的最高分辨率水平的需求。該工具基於雙波長SpectraBroadbandâ',具有775 nm的近紅外（NIR）波長,允許更小的結構和更高的分辨率。該資產還具有獨特的自動曝光通道（AET）概念,它使曝光周期自動化,並提供更大的吞吐量、更高的產量和更好的質量控制。該模型還配備了完整的計量反饋、晶圓過程診斷和控制、配方缺陷表征等集成過程監控功能。這樣可以改進過程理解、晶圓級故障檢測和模式相關缺陷的預測。該設備還提供了多工藝和多產品的靈活性，帶有可選的雙室蝕刻模塊以及用於蝕刻前和蝕刻後處理的外部腔室。此外,它還可與NexBar'®條形碼讀取器配合使用,可自動執行卡帶管理過程並確保準確性。SAT 2080S Photoresist System是一種最適合研究和生產的頂級工具。它利用先進的光學、自動化、過程監控工具和產量改進策略來提供更高的產量和可重復的過程流。它能夠滿足最苛刻的規格要求,確保此設備在未來許多年內仍是業界領先的解決方案。