二手 SEMITOOL SAT 3060 #9314452 待售

SEMITOOL SAT 3060光刻設備是一種用途廣泛且可靠的硬件，旨在滿足光刻膠開發的嚴格要求。這個系統建立在一個標準的垂直軌道平臺上，能夠支撐高達300公斤的組件。該單元包括一個SEMITOOL E550集成自旋漂洗幹燥（SRD）平臺，用戶可以將濕式臺式工藝整合到他們的光致抗蝕劑開發中。E550 SRD平臺包括最新一代的再循環過濾和離心分離技術，為濕加工工具提供了無與倫比的性能和更長的壽命。除了SRD平臺外，SAT 3060光刻機還包含了多個生產級特性。該工具設計用於處理200 mm以下的晶片,並可支持開發用於先進電子設備制造的硬質厚的光刻屏蔽。利用內置的可編程多區域步進電機旋轉晶片，為優化化學分布提供動態自旋速度和加速度。該資產還包括一個4站熱板，可針對65°C至190°C的溫度進行編程。4 Zone Hotplate允許用戶針對不同的基材鉆機和應用開發不同的配方，使其成為復雜加工要求的理想選擇。該模型還包括一個包含的水槽，它提供了一個快速和有效的方法，使光刻膠回到室溫，消除潛在的汙染。SEMITOOL SAT 3060光刻設備使用方便的控制面板,便於維護和故障排除。用戶友好的界面可方便地導航和監視過程參數。它還設計了內置的模塊化安全開關系統,從而減少了停機時間並提高了生產效率。總體而言,SAT 3060光敏裝置是一種可靠高效的光敏顯影機.其可自定義的熱板、旋轉速度選擇器和廣泛的溫度設置使其成為處理硬質和厚厚的光刻屏蔽的理想選擇。此外,該工具的模塊化安全系統可確保對過程參數進行監控,以確保質量和準確性,並提供快速有效的故障排除系統。