二手 SEMITOOL SAT #293671298 待售
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SEMITOOL SAT是由SEMITOOL開發的用於半導體器件制造的光阻系統。它能夠將大規模和高分辨率的光刻膠沈積在晶片上，以便進行精確的光刻和制圖。SAT由一個偏轉器、一個熱電偶和一個集成的充氣室組成。偏轉器將光子能量（可以調諧成一個精確的角度）指向晶片，以便沈積一層抗蝕膜。基板和蒸發模塊之間的熱梯度產生定向熱通量，增加了光刻沈積均勻性。氣室允許蒸發源完全插入腔內，以最大限度地提高氣相沈積效率。SEMITOOL SAT因其適應性和與各種光刻膠的兼容性而具有廣泛的應用範圍。它被設計為與自旋層光刻膠結合使用，但也可與聚酰亞胺等較薄的抗蝕層配合使用。抵抗厚度從0.1微米到10微米的變化是可能的，也可以達到不同的工藝溫度。SAT具有先進且用戶友好的自動調諧功能,可確保適當的抵抗溫度和沈積速率。此特性對於復雜的光刻工藝特別有用,因為自動調諧可確保晶圓基板的均勻性。SEMITOOL SAT是一個高效的光刻系統，旨在提高半導體器件的質量。其廣泛的應用、適應性和溫度控制使得它成為制造精密電路和器件的理想選擇。利用其自動調諧的特性，可以用最小的用戶努力實現高分辨率的光敏沈積。
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