二手 SEMITOOL SAT #293671300 待售

SEMITOOL SAT是一種光刻設備，設計用於高精度光刻。它用於制作半導體晶片上的小電路或復雜圖樣，用於復雜的微電子器件制造。該系統由一個光步進器組成，該步進器配有可變波長的激發源，用於曝光晶片上的光致抗蝕層以及隨後的開發。SAT設備配備了高分辨率的投影鏡頭，以及自動化的樣品加載和對準制導機制，允許高吞吐量的過程流，確保了極高的精度模式。該機能夠實現正負光抗蝕劑沈積、感光器預烘烤、光照和曝光光照強度、圖樣檢測、聚焦調節、開發、後烘烤、檢驗、圖樣高度測量等各種光刻過程。SEMITOOL SAT工具能夠曝光跨越從簡單圓到高度錯綜復雜的幾何圖案的各種復雜形狀的光刻層。這是因為資產的自動模式放置引擎能夠將這些模式精確地放置到晶圓上。然後,該模型使用多個照明角度來確保光刻層的最佳覆蓋範圍。高分辨率成像還由設備的光學器件提供,可進一步支持陣列放置精度。此外，SAT在晶圓級整合了一套全面的測量技術，並進一步允許使用者自訂成像能力，從而為他們提供自由選擇模式大小、對齊參數和滿足他們特定製造需求所需的其他變異。再者，SEMITOOL SAT也允許精確的溫度控制，有助於減少不完美結果的機會；這也有助於減少部件損壞的機會。SAT提供了各種其他功能，旨在提高制圖結果的可靠性和準確性。其中包括確保對焦和對準的高分辨率相機，可調激光源可變光照射，以及高精度光學系統以最大化照射均勻性。而且，該單元由於直觀、用戶友好的圖形用戶界面，非常易於使用，允許快速設置工藝配方。總體而言，SEMITOOL SAT機器為增強半導體器件制造提供了高性能、準確可靠的晶圓陣列解決方案。其廣泛的工藝能力、可調的照明設置和高分辨率成像使其成為任何生產線的絕佳資產。