二手 SEMITOOL SAT #9300421 待售

SEMITOOL SAT
製造商
SEMITOOL
模型
SAT
ID: 9300421
晶圓大小: 6"
Spray acid tool, 6".
SEMITOOL SAT是設計用於半導體工業的光刻塗層設備。該系統由SAT單元和SMP單元兩個組成部分組成。SEMITOOL SAT單元是單元主體,負責光敏材料的應用和去除。本單元由主體和補給臂兩部分組成。主體裝有塗抹和去除光刻膠所需的元件,如噴槍、溫度和壓力傳感器以及空氣模塊。供應臂中含有光致抗蝕劑材料,包含在兩個主儲罐中。光敏材料使用旋轉噴嘴和薄膜頭輸送到晶片。機器的第二個部件是SMP單元,設計用於幫助管理塗層過程中的光敏材料。該單元由8級儲液罐、材料預熱器、吸壓模塊和循環泵四部分組成。8級儲罐有助於管理光刻膠材料,最多可用於儲存八種不同類型的光刻膠材料。材料預熱器用於提高光敏材料的溫度,以確保在塗層過程中光敏材料與晶片的正確粘合和固化。吸壓模塊為儲罐內部的光敏材料提供吸壓,確保了正確的塗層壓力。最後,循環泵有助於保持儲罐中的光敏材料在所需的溫度和濃度。總體而言,SAT是一種功能強大、高效的光刻塗層工具,專門設計用於半導體行業。SEMITOOL SAT單元和SMP單元的組合使資產能夠準確、一致地將光敏材料應用於晶片,從而產生更高質量的結果。此外,該型號可靠、操作方便,是大容量半導體生產環境的理想選擇。
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