二手 SEMITOOL SAT #9314457 待售

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製造商
SEMITOOL
模型
SAT
ID: 9314457
Spray acid tool.
SEMITOOL SAT是為半導體材料和集成電路的自動化、單晶圓濕處理而開發的光刻設備。該系統消除了用水性或溶劑基化學品手動加工晶片的需要,提高了吞吐量,減少了勞動時間。SAT單元由三個主要組成部分組成:工藝室、光敏機構和化學輸送機。工藝室的設計是為了維持一個受控的環境,在這種環境中,熱量和濕度受到調節。這有助於確保過程一致且可重復。可以打開腔室以方便晶圓的裝卸。光阻機構負責將晶片暴露於紫外線激光器,以創造所需的特征。對曝光進行微調,以確保最高質量的結果,確保每個加工晶片的可重復性和優越的結果。化學品交付工具負責交付整個SEMITOOL SAT資產所需的化學品和溶劑。它旨在以正確的順序和在正確的溫度和成分下處理晶片,確保達到期望的結果。該模型可設置為噴塗和沖洗各種化學品和溶劑,使其能夠處理不同類型的加工。除了提供高質量的結果外,SAT設備需要最少的用戶幹預。它是高度自動化的,允許快速設置和操作。這減少了維護、維修和重新校準的停機時間,使其成為處理晶圓批次的經濟高效的解決方案。此外,該系統可與其他生產設備相結合,從而實現簡化和自動化處理。SEMITOOL SAT單元的使用使制造商能夠從晶圓加工中獲得優異、一致的結果。其緊湊的設計、自動化的操作和較低的維護要求,使其成為濕法化工工藝的可靠選擇。總而言之,SAT機是半導體加工的可靠、高效、經濟的選擇。
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