二手 SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU #9120981 待售

SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU是為滿足先進光刻工藝要求而設計的全自動光刻自旋噴塗設備。該系統提供對自旋速度、停滯時間、噴霧時間、噴霧體積和基板溫度的精確自動控制，確保材料的最佳利用率和優越的基板性能。該裝置能夠精確計量各種光刻膠，用於在直徑從4英寸到12英寸不等的基板上塗層。動態真空過程與360旋轉級相結合，使基板在噴塗過程中保持完美的靜止。機器配備了自動清洗功能，以確保循環之間的基板上不殘留殘留物。該工具具有專有的變速交流同步電動機。電機由數字控制控制,可變設置允許用戶設置500至4500 rpm的任何旋轉速度,以及1至4秒的可變旋轉時間。這使用戶能夠準確控制施加到基板上的旋轉速度和抗蝕劑量。內置噴霧機構可提供高達每分鐘6毫升（ml）的各種光刻膠，使其達到先進光刻工藝所需的高通量。該資產還具有獨一無二的溫度控制功能，可在噴塗過程中均勻加熱基板。這樣可以消除可能導致材料不一致的溫差,以及將工藝溫度升高得過高。該型號附帶了一個全面的軟件包，允許用戶自定義諸如噴霧循環速率、旋轉速度、噴霧時間、噴霧體積和基板溫度等設置。這些設置可以保存到文件中並在需要時被召回。設備還包括一個圖形顯示,用於指示過程狀態和維護的功能錯誤代碼。SAT1080SOA1PCAU是光刻實驗室的絕佳選擇，因為光刻實驗室需要精確可靠的光刻膠旋轉和噴塗。該系統提供強大的功能集、卓越的精確度和簡單的操作,使用戶能夠針對獨特的需求優化其工藝過程,並確保最佳材料使用和卓越的基板性能。