二手 SEMITOOL Scepter SAT 211 (25 04) 0 #9379202 待售

SEMITOOL Scepter SAT 211（25 04）0是為了先進的半導體製造而設計的高精度半自動光刻設備。這套集成系統將Scepter SAT 211光刻機、E-Beam軌跡單元、晶圓洗滌器和跡線分析儀合二為一。Scepter SAT 211光刻膠分配器具有高分辨率的重量自動分配機，能夠準確、一致地給予光刻膠，減少化學成分，以更好的控制。集成的E-Beam軌跡工具提供精確的晶圓定位，速度高達每小時300晶圓。晶圓洗滌器設計用於精確控制濕洗和幹洗過程、分配化學品、沖洗和洗滌。最後，痕量分析儀資產使用電光元件檢測晶片洗滌過程中引入晶片表面的粒子。Scepter SAT 211組件的組合提高了吞吐量,提高了過程的一致性和可靠性,並對晶圓清洗過程進行了卓越的控制。光致抗蝕劑分發器允許在晶片表面上均勻可靠地應用抗蝕劑，而先進的電子束跟蹤模型則確保在過程的各個步驟中精確對準。微量分析儀設備能夠檢測粗細顆粒汙染物，以便更好地控制清潔過程。結合自動晶圓洗滌器，這些組件提供了一個集成和精確的晶圓清洗過程。綜合系統設計使Scepter SAT 211成為蒸發技術、化學蝕刻和沈積工藝的高效可靠的解決方案。該裝置具有高精度均勻噴塗、減少化學反應以改進控制和粒子檢測等特點，在半導體制造中支持更高的精度和可靠性。先進的工藝控制能力還允許更精確的電鍍和基板清洗。此外,機器的自動濕洗和幹洗功能顯著降低了人工成本,提高了整個過程的效率。