二手 SEMITOOL Scepter SST-421 #9229859 待售

SEMITOOL Scepter SST-421是一種光阻設備，設計用於光子器件的高級IC處理和原型設計。它旨在通過標準旋轉軌道系統易於使用的平臺實現最高分辨率。它是一個自動化單元，具有先進的抗蝕劑旋轉和噴霧機，與SEMITOOL宙斯視覺工具軟件協同工作，對抗蝕劑沈積過程進行精確控制。宙斯視覺工具提供了一個直觀的圖形用戶界面來設置、監視和管理抵抗應用程序。該軟件允許用戶設置關鍵處理步驟的精確參數，如旋轉速度、噴霧壓力、溫度和腔室環境。權杖SST-421提供了對抗蝕劑厚度、均勻性、邊緣輪廓和抗蝕劑流動均勻性的精確控制，從抗蝕劑旋轉到固化為止。這樣可以確保以盡可能高的分辨率應用光刻膠，在整個晶片上的厚度變化最小。該工具具有高度模塊化,可容納各種工藝室和晶圓尺寸。這允許用戶執行晶片清洗、蝕刻和抵抗剝離操作。機器人手柄資產集成到模型的背面，讓用戶能夠靈活地輕松更改工藝站。SEMITOOL Scepter SST-421是為最大的可靠性和準確性而設計的，允許用戶操縱抗蝕劑成分、聚合物和溶劑，以最大限度地提高分辨率和工藝產率。所有關鍵部件均由耐腐蝕材料組成，可適當遏制化學品，防止工藝室和晶片受到汙染。該設備已由SEMITOOL測試和質量控制小組進行質量和性能檢查和驗證。