二手 SEMITOOL Scepter #293807079 待售

SEMITOOL Scepter是一種光抗蝕劑設備，使用專門的掩模在多種材料中創建納米級圖案。該系統由晶片級、真空源、光學和光源組成。光掩模由高度專業化的材料制成，因此可以設計成創建復雜的圖樣。晶片級用於以產生圖像所需的必要精度正確定向光掩模和晶片。真空源保證了晶圓加工與真空要求的兼容性.此外，光學器件的設計提供控制光學器件的光掩模成像到晶圓。光源可以根據使用的光致抗蝕劑類型而變化，如超高真空（UHV）和深紫外線（DUV）激光源。為了正確地對光掩碼成像，采用了圖像對準單元。這是一種高精度的設備，可以旋轉和移動光掩模直到它精確對準晶圓。一旦光掩碼正確對齊，曝光過程就可以開始了。曝光過程涉及一臺鏡頭機器，將光聚焦在光掩模和晶圓上，曝光可以根據光源的強度和光掩模的定位而變化。這種暴露過程是導致光致抗蝕劑變硬和形成圖樣的原因。一旦光掩模被曝光，晶片就被開發出來，以便去除光刻膠中未曝光的部分。這樣就形成了晶片上的圖樣。最後一步，晶圓準備好進行處理，以鈍化表面汙染物，然後該圖樣可用於各種應用，如形成晶體管、電容器或其他納米級器件。權杖由於其精確的對準能力、與多種光源的兼容性以及高重復性，是最受歡迎和最可靠的光阻系統之一。對於那些希望為其各種設備和應用產生納米級模式的人來說，它是一個非常寶貴的工具。