二手 SEMITOOL Scepter #293831473 待售

SEMITOOL Scepter是為半導體工業中的應用而設計的光阻設備。該系統用於沈積光致抗蝕劑薄膜，這是一種抵抗紫外線輻射的材料。這是一個先進的單元，設計用於高通量濕X射線或電子束直接寫入應用。權杖以最優質的材料設計，註重熱穩定性、均勻性和粒子控制。它包括三個一起加熱的儲罐，每個儲罐都有自己獨立的溫度控制，這樣反應堆溫度就可以被嚴密監控和控制。SEMITOOL Scepter還有一個真空機器，可以減少排氣和促進均勻性。權杖的優勢來自其獨特的特點，如其快速泵浦循環時間、可調軌距儀表、沿晶片邊緣促進均勻性的再循環提升套件、提高邊緣完整性的蓋子工具以及其八級數字功率控制。SEMITOOL權杖提高了沈積層的質量，允許沈積速率高達15微米/秒，並且在6英寸晶圓上均勻度為+/-4微米。此外，它與傳統的光掩模配合使用，分辨率高達0.6微米，並產生0.5-2.0微米厚的光阻層。該資產還采用不銹鋼部件制造，非常適合使用各種光刻材料。Scepter被全球多家領先的工廠所使用，並為光刻膠性能設定了新的標準。它在均勻性和沈積率方面提供了卓越的一致性，並具有使用各種口罩的能力。該模型還提供了快速的周期時間和方便的維護，使其成為許多不同類型的光刻沈積工藝的理想選擇。