二手 SEMITOOL SDC-400 #68685 待售

SEMITOOL SDC-400是一種用於半導體制造的光阻設備,用於在晶圓上繪制IC圖案。本質上是一系列集成的模塊，可以分布、加工和檢驗光刻膠，允許高通量和非常高的產量的無縫過程流。該系統設計用於處理各種光刻膠和基材，使用戶能夠靈活地定制其工藝參數，以適應他們所期望的結果。SDC-400利用創新的模塊化板技術,在不同的流程之間切換時,可實現高效的流程流程和更快的變更。這項技術允許同時執行多個過程，大幅縮短周期時間，提高產量。該單元包含一個晶片處理模塊，該模塊從裝載站拾取晶片，將其轉移到處理階段，然後將其存放到容器中卸貨。這樣就可以在進程之間進行快速、高效的傳輸。該機還包括一個紅外預烤模塊，該模塊使用仔細校準的溫度和時間來確保光刻膠的最佳旋轉塗層。接著是主要的光致抗蝕劑室，它由紫外線燈和一個將曝光的光致抗蝕劑閃爍到晶片上的幹燥區組成。IC的模式就是在這裏進行的。最後，烘烤後模塊運行烘烤後序列，以除去殘留的光刻膠，然後將晶片卸載並準備進行檢查。資產中還包括一個視覺缺陷映射工具，以確保保持最高質量控制水平。該模型使用專有算法來識別、量化和繪制任何缺陷,從而確保只有質量最高的晶片才能到達客戶手中。總之，SEMITOOL SDC-400是一種先進的光致抗蝕劑設備，它利用最新的技術進行圖樣和缺陷分析，非常適合半導體制造應用。其高吞吐量、靈活的設計和準確檢測缺陷的能力使其成為任何生產線的絕佳選擇。