二手 SEMITOOL Semitool 860 #9124362 待售

製造商
SEMITOOL
模型
Semitool 860
ID: 9124362
晶圓大小: 5"
Spin rinse dryer, 5" Double stack bowl PC101 Controller Conductivity/resistivity monitor 120V, 15 amps, 50 / 60Hz.
SEMITOOL Semitool 860是一款專用的光刻膠設備,旨在使用戶能夠輕松創建先進的光刻膠圖案。它由幾個組件組成,這些組件結合在一起,為制造和優化制造電子設備提供了一個平臺。Semitool 860的主要部件是專有的光電掃描儀(OE-1)。該掃描儀經過編程和優化,能夠以高精度和一致性掃描用戶定義的光刻膠圖樣。它采用先進的光學器件,包括兩個激光束:一個用於創建光刻材料所需的紫外線圖樣,另一個用於創建每個激光脈沖的控制,以創建所需的圖樣。激光脈沖可針對不同的光刻膠類型進行微調。SEMITOOL Semitool 860的曝光表設計為確保曝光過程中的高均勻性和最小失真。其空氣承載系統確保光刻膠圖樣精確地暴露於紫外線源,從而形成明確的曝光。此外,該表支持用戶控制、無下垂和低應力對齊過程,而數字控制龍門則提供精確的模式大小控制。Semitool 860還配備了一系列先進的軟件工具,可以用來優化光刻膠圖樣和工藝。這包括一個CAD庫,允許用戶導入標準形狀,以及一個模式識別算法,它可以識別光刻膠圖案的形狀。軟件還允許對曝光過程進行交互式控制,允許用戶調整光學單元設置,軟件提供了幾何面積、峰值強度和表面粗糙度等廣泛的指標。此外,該機還包括一個基站,提供幾種可編程的安全和自動化設置,以保持最高質量的生產。這包括實時監測紫外線暴露水平、基板溫度控制和自動晶圓處理。該站還可用於監測和調整過程中的激光輸出,以確保最佳的光阻圖樣制作。SEMITOOL Semitool 860是一款功能強大、用戶友好的工具,可提供高效、先進的光刻膠圖案創建過程。其最先進的組件和軟件確保了高精度和可靠性,並且憑借一系列的特性和功能,用戶可以輕松創建最復雜的光刻圖樣。
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