二手 SEMITOOL Sirius #293590463 待售

SEMITOOL Sirius是SEMITOOL公司製造的下一代光刻膠系統。它是為高質量的光刻生產而設計的全自動單基板光刻系統。天狼星由四個主要部件組成-一個電動抵抗送貨臂、一個集成的基板處理機器人、一個先進的噴霧分配頭和一個大型的用戶友好控制面板。SEMITOOL Sirius可以處理單面和雙面晶圓基板，以及法蘭樣式基板。機動抗蝕劑輸送臂有助於將抗光劑輸送到基板上。機器人手臂有助於確保準確、均勻的傳送，手臂速度可調以確保精度。集成機器人有助於基板處理，並允許自動裝卸基板托盤。它還允許自動刀具定位和提升，使光刻膠正確定向並正確放置在基板上。先進的噴霧分配頭可實現精確甚至光刻膠的分布。它的噴嘴設計和操作也有助於減少過程中溢出的光致抗蝕劑量。磁頭能夠準確控制沈積在基板上的光刻膠的數量和方向。用戶友好的控制面板易於操作，允許用戶快速編程和監控過程。控制面板專為自動/手動操作而設計，它為用戶提供了對屏幕上的圖形和縮放、顯示警報以及全自動過程控制功能的訪問權限。歸根結底，天狼星是一種強大可靠的光刻系統，旨在以最高效的方式為制造商提供高質量的光刻生產。集成的機器人和分配頭確保光刻膠在基板上的傳遞一致而準確，而控制面板則允許對過程進行簡單快速的編程和監控。SEMITOOL Sirius是制造商使用的可靠且經濟高效的光刻膠解決方案。