二手 SEMITOOL Sirius #293622591 待售
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單擊可縮放
ID: 293622591
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
System, 12"
Rotor, 8"
Stainless steel 316
Process: Spray ozone
Ammonia process modules
ASTEX AX8400 Ozone generator system
BMT 930 Ozone monitor
Ammonia tank
Mix control
Standard pneumatic panel
DI Panel
O2 Panel
NH4OH Panel
Motor
Control
TREBOR Quantum 30 Hot DI system
Voltage: 380 VAC, 45 Amp
Power supply: 50/60 Hz, 208 VAC
Full load current: 45 AMP
Largest motor or load :20 Amp
2008 vintage.
SEMITOOL Sirius是由SEMITOOL製造的全自動光刻設備。它是為在半導體工業中先進的光刻應用而開發的。該系統提供高性能功能,如激光激活掃描和非接觸式抗蝕條、自動晶圓處理和處理,以及簡單的用戶界面。天狼星單元被設計成達到晶圓表面預處理的最高水平。它能夠將光刻膠精確地沈積到基板表面上，並保持適合微光刻加工的表面均勻性。機器由一個單室、處理器頭和一個直流電源組成。加工頭配有染料，在沈積前將光致抗蝕劑輸送到晶片表面。Dyejet工具安裝在機械手上，並被編程為根據一組編程的指令對晶圓表面進行陣列設計。SEMITOOL Sirius采用集成的自動矯直技術，以確保微光刻工藝的準確性和可靠性能。它利用激光引導掃描資產，精確調整掃描儀頭相對於晶圓表面的角度和對準。Sirius還提供了一種非接觸式阻擋帶功能,它可以更好地控制條帶過程,並且無需手動處理。SEMITOOL Sirius模型具有用戶友好的圖形用戶界面（GUI），與標準軟件包完全兼容。它在設計上是模塊化的，在需要時可以通過附加的功能和部件進行升級。該設備具有自檢功能和診斷系統，以確保可靠的光敏沈積。天狼星單元非常適合先進的光刻應用，提供高分辨率和過程精度和可重復性。該機可靠、高效、經濟高效，是半導體工業應用的絕佳選擇。
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