二手 SEMITOOL Sirius #293671304 待售

SEMITOOL Sirius是一種光刻設備，設計用於生產尖端微電子元件的關鍵光刻工藝。該系統具有自動曝光（AE）、自動開發（AD）站和光刻帶（PS）站等工藝套件,它們都是生產精密微電子元件的組成部分。AE站在光刻過程中起著關鍵作用，在光刻過程中，將光刻膠（樹脂）塗層塗在矽片或其他材料基板上，然後暴露在可見光下。AE站的設計目的是以最小的失真和薄薄的光敏程度精確地暴露光刻膠。然後，AD站自動開發出曝光的光刻膠，除去被輻照的元件，並將電路圖樣蝕刻到基板上。與人工處理不同的是，AD站的設計提供了非常精確的結果，提高了安全性和效率。最後，PS站從基板上剝離剩余的光致抗蝕劑，留下蝕刻電路圖案。此步驟提供光滑的光潔度,並釋放基板以進行進一步處理。Sirius旨在通過快速循環時間提高生產效率,同時優化成本節約。它還通過提供直觀的控制和自動化的操作機器來簡化單元操作。為了進一步定制,用戶可以將第三方軟件集成到工具中,以定制光刻解決方案。為確保光刻過程中結果的一致性和質量，SEMITOOL Sirius配備了多項高級功能。這包括用於檢測和補償基板表面不規則性的自動對焦功能、用於優化成像結果的自動校準工具以及若幹其他常用功能，以簡化光刻膠的處理。為了增加安全性，資產還包括一個緊急停止功能，可用於快速停止模型並減少操作員錯誤帶來的潛在危害。對於需要最新和最精確的光刻工具來進行生產的制造商來說,天狼星是一個理想的選擇。憑借強大的設計和自動化功能,可以在最短的停機時間內實現準確和統一的處理。