二手 SEMITOOL Sirius #293671306 待售

SEMITOOL Sirius是一種綜合性的光刻設備，旨在提高光刻加工的精度和效率。該系統旨在滿足半導體行業定制的光刻膠需求，必須遵守嚴格的質量、速度和一致性規格。此單元能夠在封閉的機器中有效地抵抗開發、加工和交付,該機器可分隔多達四種材料,並可靈活地滿足各種工藝要求。該工具可用於幾乎所有的光刻應用程序的手動或自動設置。資產由Sirius Processor、SEMITOOL Sirius Spinner、Sirius Chamber三個主要組件組成。SEMITOOL Sirius Processor是一個自動化程序,它使用最多四種配方同時分配晶圓和/或基材,並將其精確地塗覆到光致抗蝕劑中。這種高速旋轉模型確保光刻膠的應用和均勻地散布在晶片上，這對於確保最終產品的質量和精度是必要的。同時，Sirius Spinner是一個多級刷牙裝置，通過4級噴塗循環運行多達72個晶圓。階段變化射流清潔和剝離從晶片的光致抗蝕劑，以創建必要的光刻層。SEMITOOL Sirius Chamber是一個專門設計的反應堆腔室，為應用光刻膠提供最佳固化條件，確保抗蝕劑在半導體工業應用的嚴密操作參數內粘附並保持穩定。Sirius光刻膠設備的設計旨在降低手工或自動生產光刻膠處理的成本和時間。該系統提供了卓越的可重復性、準確性和可靠性,這對於高性能要求的產品是必不可少的。SEMITOOL Sirius單元還設計了占地面積小，易於使用和維護。Sirius機器所做的精密光敏處理適用於廣泛的半導體應用，如薄膜晶體管、高壓快速開關以及集成的無源和有源元件。無論您的特定光刻技術需要什麼,SEMITOOL Sirius光刻劑工具的設計都能在廣泛的應用中提供可靠且可重復的光刻劑處理。