二手 SEMITOOL Sirius #293671310 待售

SEMITOOL天狼星光刻加工設備是一個可靠高效的平臺，旨在優化微電子器件制造的光刻加工。Sirius采用獨特和創新的設計,采用專利技術在每個周期中提供準確的處理結果。這個獨立或集成的模塊化平臺包括一個有兩個獨立軌道模塊的高效集成平臺、一個可容納各種工藝容器的開放式設計模塊以及各種獨立工藝模塊。SEMITOOL天狼星平臺有兩個主要模塊，開發者模塊和剝離器模塊。顯影劑模塊包括自旋塗層、顯影光刻膠和預脈沖曝光等工藝。Stripper Module由濕剝離、幹剝離和灰化等過程組成。這些模塊具有手動和自動化的流程控制系統,使操作員能夠監視流程參數並生成報告。這些模塊還配備了有助於防止化學品暴露危害的安全功能。天狼星光敏處理系統提供高精度的工藝結果和卓越的精度。該單元采用雙頂棚設計，可最大程度地減少顆粒汙染，防止工藝室內的熱交換。工藝溫度可在20-70°C之間調節,並且機器能夠將工藝壓力精確控制在+/-0.5 bar以內。SEMITOOL Sirius還允許對工藝配方進行定制，以確保無論層材料和應用的最佳結果。該工具還允許整合不同的後處理技術，如灰化、蝕刻、等離子體暴露和開發後去除。天狼星被設計為提供過程效率和質量保證光刻加工。其雙車頂設計、集成的安全特性、配方定制能力以及工藝參數的操控，都使資產成為可靠、經濟高效的光刻加工平臺。