二手 SEMITOOL Sirius #9192672 待售
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單擊可縮放
ID: 9192672
晶圓大小: 6"
Hydrozone system, 6"
Dual cassette
PSC-402B Controller
A182-60MB Rotors.
SEMITOOL Sirius是一款最先進的光刻設備,旨在為半導體光刻提供先進技術。它是半導體器件制造中處理薄膜層的專用機械。天狼星系統獨特的設計和超細工程,使其能夠在光刻加工中提供卓越的質量和最大的效率。該單元配備了所有必要的組件,包括一個完全集成的MPW(多項目晶圓)平臺,用於多條制造線路。它能夠處理直徑不超過25mm、厚度不超過6mm的晶片。該機器還被配置為包括旋轉和噴霧選項,用於光刻膠在晶片上的精確和均勻的應用。該工具的設計采用了新的和改進的用戶界面,並配有幾個用戶友好的顯示器,便於導航和高效使用。它配備了高級軟件,可提供增強的診斷、監控和控制功能,允許用戶自主監控資產中的流程參數。還提供了自動基板識別和模型功能的自動控制功能,使用戶能夠在最小的監督下快速、準確地設置和運行流程。此外,SEMITOOL Sirius的設計考慮到安全性,具有自動通風、互鎖和空氣湍流傳感器等內置安全功能,旨在確保充分安全運行。設備還配有全面的售後服務包,確保系統的快速有效維護和支持。Sirius光刻膠裝置非常適合專業實驗室和內部電子制造,其先進的特性確保了光刻膠處理的最高質量和最高的效率。以其人性化的設計和先進的技術,本機真正樹立了先進的光刻加工的標桿。
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