二手 SEMITOOL Sirius #9229812 待售

SEMITOOL Sirius是專為滿足最具挑戰性的半導體器件制造工藝需求而設計的光刻設備。它是一個自動化、功能齊全的系統,旨在提供卓越的性能、準確性和易用性。天狼星由兩個不同的元素組成：光刻塗層和顯影和表面調節單元.光敏塗層通過高速噴塗工藝在晶片上提供均勻且可復制的濕膜厚度處理。機器配備了多個分配頭，允許用戶根據自己的需求選擇最優化的解決方案。它采用了專有的氣體壓力控制工具，在預清潔和後清潔操作中提供準確的一致性、厚度和薄膜均勻性。開發和表面調節資產具有四個專有專利處理模塊。它有一個雙罐光刻膠顯影劑，可以完全控制開發過程。該模型還具有除泡攪拌和沖洗模塊，確保生產一致和均勻的薄膜。結合表面調理模塊，設備為生產高質量精密器件提供了集成解決方案。SEMITOOL Sirius為生產高品質的光刻膠膜提供了廣泛的特性和能力。其快速、精確的處理時間使芯片制造商能夠以縮短的周期時間制造出可靠的設備。其集成控制系統在處理過程中提供了對晶圓表面地形的更大控制。該單元還能夠在一次操作中管理多個塗層材料,並提供全面的過程驗證、故障排除和數據日誌管理工具。總體而言，天狼星是一個理想的光刻機廣泛的前沿半導體器件制造過程。它在生產高質量的光敏膠片方面提供了極好的均勻性、準確性和可靠性。它的集成模塊和控制確保了準確、可重復的處理,並使用戶能夠在制造過程中節省時間和成本。