二手 SEMITOOL Spectrum #9124180 待售

SEMITOOL Spectrum是一種設計用於半導體和集成電路產品光敏處理的設備。該系統旨在彌合濕式臺式系統與內部專用光刻處理器之間的性能和成本差距。該單元提供了廣泛的功能和功能,使其適合各種應用程序。Spectrum包括一個兩級批式烤箱和兩個定制設計的粉末模塊，另外還有壓敏電阻、無碳氫化合物隧道等功能，另外還有一個5 cm，用於提高精度和吞吐量。該機低溫範圍為39-600°C，受控氮氣氣氛，每批烤箱運行最多可容納20個晶圓。該工具提供了可編程選項的選擇,使客戶能夠自定義資產以滿足個人需求。這包括解決方案配置文件、每個序列設置、原位電場調諧、擴散控制和非易失性內存。該模型是為高精度、高溫光阻塗層性能而設計的。它提供0.5 µm的精度，0.02 µm的步長分辨率和動態分辨率設置，以實現準確的工藝控制。此外，設備在晶圓和腔室的溫度均勻度小於± 0.3 °C。SEMITOOL Spectrum的功能還得益於其先進的診斷和維護功能,其中包括過程和室內診斷,以及預測性維護,這有助於最大程度地減少停機時間。該系統的設計也考慮到了安全性。它有內置的聯鎖，保護操作員免受危險材料的傷害，以及壓力和真空緩解系統。此外,設備的文檔庫還支持操作員診斷問題。光譜是一種可靠、高效的半導體和集成電路產品光阻處理機器。它的特點使它成為其用戶極具成本效益的選擇。