二手 SEMITOOL Spectrum #9232917 待售

SEMITOOL Spectrum是一種光阻設備，使用戶能夠快速、準確地繪制各種光阻材料的圖樣。它由許多組件組成,每個組件都有不同的功能,這些組件允許對晶圓進行有效的批處理。光譜具有一整套功能,包括一個更大的工藝室,以提高通量和氣體分散度,改進低溫光刻膠兼容性以實現更高質量的圖樣,以及增強對開發和沈積均勻性的控制。該過程從預處理模塊開始；這是晶片清洗和預處理的地方。然後塗上光致抗蝕劑。接下來,他們前往曝光模塊。在這裏，晶片暴露在一個程序化的，圖案化的光源。曝光後，晶片被轉移到顯影劑模塊。這是暴露的光致抗蝕劑化學開發，允許光反應性化學物質硬化或溶解取決於他們的類型。開發光刻膠後，晶片被轉移到等離子體蝕刻模塊。使用等離子體,蝕刻模塊將材料從晶圓表面蒸發.這樣就形成了圖案化的光致抗蝕劑層。最後，模塊包含一個幹蝕刻模塊，它使用氣體、電離粒子和電壓的組合來去除任何不需要的光致抗蝕劑殘留物。SEMITOOL Spectrum能夠容納各種類型和尺寸的基板和光掩模材料。該系統配備了超精確的Leica™技術，用於掩模對準和在晶圓上準確曝光多個圖像。此外，該裝置還提供均勻的基板和光致抗蝕劑處理、快速的晶片到基板加載以及低基板處理角度和真空夾緊技術。這臺光刻機也具有很高的可編程性和可定制性。用戶可以選擇執行的步驟順序、速度、溫度範圍和壓力水平以及其他細節。所有這些特性使Spectrum成為高容量、精密光刻加工的絕佳選擇。