二手 SEMITOOL Spectrum #9355653 待售

SEMITOOL Spectrum是一種光致抗蝕劑設備，設計用於將化學和物理過程與化學氣相沈積（CVD）相結合，在多種底物上形成平坦、均勻的光致抗蝕劑薄膜。設計為薄膜沈積、平面化、抗去除的多合一平臺。該系統利用射頻（RF）等離子體來啟動化學反應，以獲得最佳的抵抗覆蓋率、厚度和均勻性。Spectrum被設計為容納多種基材，包括矽晶片、光學玻璃、砷化氙和陶瓷。除了射頻等離子體源外，它還具有真空室、高性能傳質設備以及過程監控的控制系統。該單元采用CVD和光刻相結合，將薄膜光刻膠均勻準確地沈積在基板上。射頻等離子體引發化學反應，在表面上形成平坦均勻的光致抗蝕劑膜。等離子體還有助於消除可能影響設備性能的空隙、劃痕和殘留物。一旦塗上薄膜，基板就被轉移到平整平整的平面化階段。平面化階段利用蝕刻工藝去除表面的任何殘留物或不規則性。然後將基板放置在真空室中，在真空室中固化光致抗蝕劑，從而在表面形成均勻一致的薄膜。然後基板準備好進行抗蝕劑去除。這可以通過濕蝕刻或激光燒蝕來完成。濕蝕刻利用一系列化學物質溶解表面的光刻膠。激光燒蝕采用專用激光從表面輕輕蒸發光刻膠。最後對基板進行測試，確保基板適合設備制造。這是通過在設備上運行電氣測試來完成的,以確保設備正常工作並且設備沒有缺陷。SEMITOOL確保所有通過測試的設備都可用於商業用途。SEMITOOL Spectrum是一款高效、精密的光刻機，旨在提供具有統一、一致和可靠覆蓋範圍的高精度設備。它非常適合用於需要基板上均勻的光敏層的應用，同時確保得到的設備的最佳性能。