二手 SEMITOOL Spectrum #9384195 待售

SEMITOOL Spectrum是一種專門的光阻設備，設計用於在半導體器件的制造中提供最高水平的控制。該系統利用濕處理方法和幹法提供對層厚度和形狀的完全控制,並能夠為超細集成電路生產高度復雜的層。該裝置利用反應性氣相沈積（RVD）的光致抗蝕劑，這在IC的生產中是非常有利的，因為它可以用於產生非常低排泄率的厚光致抗蝕劑層。光致抗蝕劑沈積過程分為兩個主要階段，每個階段都可以在濕法或幹法過程中進行。在第一階段，一個平坦的基板被塗上所需的光刻膠，然後是第二階段，在此期間，光刻膠被轉換成所需的圖樣。光譜的支持技術是它控制光敏層厚度的能力。層厚度可以通過控制沈積的光刻膠蒸氣量來精確控制，使IC的設計細節極為精細。層厚度也可調節，使不同厚度的基板產生。此外，SEMITOOL Spectrum機器還提供了一種自動控制工具，用於管理光刻膠生產所需的幹濕工藝。這樣就可以在整個光致抗蝕劑層上產生非常均勻的厚度,從而對成品集成電路的外觀提供最高級別的控制。光譜對光刻膠工藝的控制提供了層級設計的精確度，這在傳統方法中是不可能的。資產的特性允許在短短幾秒鐘內對詳細的設計進行變異，還提供了快速重現錯誤的能力，使其成為批量生產的理想模型。SEMITOOL Spectrum結合幹式和濕式處理的優點，使詳細集成電路的生產速度和精確度顯著。對幹法和濕法過程進行精確的沈積控制和管理，可以達到傳統光刻膠加工所無法達到的精度水平。該設備是生產高可靠性、高性能復雜集成電路的必要工具。