二手 SEMITOOL SPS-2000 #9284262 待售

SEMITOOL SPS-2000是一種先進的光刻設備，設計用於晶圓調節、幹條、旋轉和噴塗作業。該系統旨在滿足當今半導體晶片化學機械加工的高精度要求。該單元能夠處理直徑達六英寸的晶片，並配有可編程基板工藝控制器。此控制器最多可執行16個程序,每個程序最多可執行32個段。它還提供定制的程序段和參數調整，允許用戶以最少的人工幹預來處理基板。此外,SPS-2000還具有檢測噴霧操作過程中晶圓停止的能力。精密噴頭是SEMITOOL SPS-2000的一個重要特點.噴頭的設計采用不同尺寸的噴嘴,使用5軸加工工藝創建。這有助於創建所需的噴塗圖樣以獲得均勻的薄膜。噴頭可通過手動或電機驅動的工藝根據高度和角度進一步調節。在幹式帶材應用中，SPS-2000采用帶雙通道氣泡的濕式臺階來精確控制去離子水的溫度和流量。這有助於確保與晶片接觸時的精確蝕刻行為,實現所需的薄膜輪廓,而不會造成接觸式潛水片或熱板損壞。該機還具有自動熱板檢測功能，可防止熱板接觸晶圓，從而消除潛在的損壞。此外,SEMITOOL SPS-2000包括一個集成的高速旋轉工具,可提供2200 rpm的速度精度。它具有耐用的摩托和雙軸承設計,以及平衡的外輪,可提高精密性能。可以在資產中添加可選的噪聲濾波器，以減少環境噪聲，提高塗層操作的準確性。綜上所述，SPS-2000是一種通用且先進的光刻膠模型，使用戶能夠進行精確的晶圓調節、幹條、旋轉和噴塗。它提供了可自定義的程序和參數,以及可調節和精確的噴頭、氣泡設備、旋頭和防熱板。由於這些原因，該系統對於需要可靠、精確的光刻裝置的廠商來說是絕佳的選擇。