二手 SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML #9139663 待售

SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML
ID: 9139663
晶圓大小: 6"
Spin rinse dryer, 6".
SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML光刻設備是專為半導體制造而設計的精密專用光刻平臺。該系統利用先進的深層紫外線(DUV)和激光處理技術,使光刻材料能夠在半導體表面上進行光刻蝕刻。SRD-2405-3-1-E-ML由一些專為優化半導體制造而設計的部件組成。其功能包括使用大直徑超細投影鏡頭單元,利用數字成像技術確保多層抗蝕劑的精確定位和對準,以及能夠在目標材料上產生高分辨率圖樣的激光源。機器還包含一個機器人輔助晶片處理工具(RABR),它自動定位晶片用於光刻過程。此外,SEMITOOL SRD-2405-3-1-E-ML還配備了綜合抽水設備,以保持清潔的加工環境,方便快速周轉。它能夠執行不同類型的工藝,包括單塗層、全塗層和多層光刻塗層,以及蝕刻和提升工藝。最後,該模型配備了先進的軟件包,提供全面的過程控制和數據采集能力。這樣可以提高生產效率和高度可重復的過程結果。總體而言,SRD-2405-3-1-E-ML光刻設備是一個功能強大、用途廣泛的平臺,旨在滿足現代半導體制造的精確要求。
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