二手 SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML #9366563 待售

SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML Photoresist Equipment是一種自動化晶片帶、抗蝕劑和剝離系統,旨在為半導體和IC技術的供應商和開發者提供高效、準確和經濟高效的沈積和剝離光刻劑的能力,用於各種晶片制備應用。該單元使用具有1到6晶圓容量的帶狀剝離（SP）模塊。晶片首先由帶真空內窺鏡的盒式磁帶或吊艙固定。然後將其轉移到光致抗蝕劑被置換的框架位置。抗蝕劑通過集成的R2機器以平行於晶片平面的方向精確滾動到晶片表面上。然後將抗蝕劑保持幾秒鐘不變，使抗蝕劑進入晶片表面。這種設定可以在環境溫度到200攝氏度以上的溫度下進行。溫度也可以通過器件類型或光刻類型來調節。該工具能夠使用SRD-240S-6-1-E-ML集成的PEELER資產，從晶片上自動做一整條光刻膠，設計為使用兩種不同的剝離技術；以洗滌劑和溶劑為基礎。溶劑基工藝用於分活水平結構和結點技術的洗滌劑基工藝。此外，該車型采用內置幹燥機設計，可用於進一步除濕。烘幹機還可以用來預密環境，以獲得理想的去除抗性條件。用戶還可以調整過程參數，如溫度、流速和旋轉速率，以獲得所需的結果。SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML還有一個集成的缺陷檢測設備，允許用戶檢測和測量晶圓缺陷，這對於控制過程結果非常重要。此外,系統還具有進程參數的實時監視器,以確保該進程得到最佳運行。總而言之，對於半導體和IC技術制造商來說，SRD-240S-6-1-E-ML是一個極好的光阻裝置。這臺機器高效、準確、經濟高效，易於調節，以適應不同類型流程的需求。此工具可確保用戶在晶圓制備應用程序中獲得最佳、最高質量的結果。