二手 SEMITOOL SRD 270 #293595251 待售

SEMITOOL SRD 270是一種光阻設備，用於在半導體晶圓上沈積薄膜。它是一個先進的系統，具有獨特的多位置加載盒式潛水模塊和獲得專利的盒式環境控制單元（CEC）。SRD 270機器通過激光蝕刻光刻層以非常高效和準確的方式制造薄膜。它配備了高強度脈沖激光二極管、先進的掃描控制器和最先進的控制軟件。該工具提供了在200 mm、300 mm和450mm晶片上沈積薄膜的高精度和可重復性。SEMITOOL SRD 270資產由三個主要組成部分組成。首先，將多位加載的盒式浸入式模塊用於晶片的裝卸。它由激光集成模塊和盒式潛水模型組成。第二，在蝕刻過程中使用運動控制設備移動光學器件。它具有光學直線平移級和precisionn步進電機.最後，使用卡帶環境控制系統（CEC）來控制卡帶浸沒模塊的溫度和濕度。SRD 270單元最多可在四種配置中操作。在單位置模式下，一次可以蝕刻單個晶片；在同時浮動配置中，可以同時蝕刻兩個晶片；在同步滑動模式下，可以同時蝕刻四個晶圓。最後，擴展滑動模式允許在單個循環中蝕刻多達18個晶圓。SEMITOOL SRD 270機還具有先進的過程控制和數據收集軟件。它具有自動SPC，記錄和存儲每個晶圓蝕刻周期的重要工藝參數。它還記錄了盒式潛水模塊的溫度、濕度和其他環境參數。然後將數據用於監視和優化蝕刻過程。總體而言，SRD 270是一種強大的光阻工具，為制造商提供了在半導體晶片上沈積薄膜的高精度和重復性。通過將獲得專利的CEC技術與先進的掃描控制軟件相結合，能夠生產出非常精確的晶圓尺寸的薄膜。這使得它成為現代半導體生產的可靠高效的解決方案。