二手 SEMITOOL SRD 270 #9135998 待售
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單擊可縮放
ID: 9135998
優質的: 1995
Table-top spin rinse dryer
Controller: PSC-101
Rotor actual balanced fluoroware carrier: 4”,5” and 6“
(4) Bolt rotor assembly
Resistivity probe in drain
220 VAC, 50/60 Hz
1995 vintage.
SEMITOOL SRD 270光抗蝕劑設備是一種全自動的直列式化學工具,能夠對感光材料如光抗蝕劑、PCB和薄膜磁性介質進行高效、準確的處理。其單室設計最大限度地提高了生產率和成本效益,同時最大限度地降低了使用更復雜的多室模型時經常看到的缺陷風險。該系統擁有一個高容量、高壓力的送貨單元,可用於高效處理,並擁有多種解決方案,可確保準確、可重復的結果。該機器具有獨有的控制級別,包括多流程控制中心和自動化流程監視器。此監視器包括實時傳感器,可以向操作員發出任何過程不規範的警報,從而可以快速采取糾正措施。該工具既兼容常規開發,又兼容先進的微蝕刻工藝,提供了高精度、更快的處理時間和更強的安全性。SRD 270具有多種解決方案,既提供幹濕蝕刻工藝,也提供可剝離的多抗蝕劑。它配備了獨特的沖洗輸送資產以防止顆粒堆積,並具有溫度和濕度控制功能以確保連續性和穩定性。其強大的垂直升降機平臺能夠方便地進入加工容器,同時繼續保持與潔凈室設施中的元素的積極隔離。該模型可容納正常的重力饋送過程流,既可實現精確的計量,也可實現多種配置和連接。它還利用屏障技術盡量減少交叉汙染,減少維護時間。SEMITOOL SRD 270最多可容納四個直列式處理容器,並可容納混合負載配置,以實現最高效率。它能夠進行自我故障排除和錯誤報告,並提供行級編程以實現作者身份和過程優化。SRD 270是任何光刻處理器的理想設備,因為它在單一可靠的系統中提供了非凡的可靠性、重復性、準確性和工作效率。它消除了對多個容器和復雜流程系統的需求,並且由於它能夠管理多個流程,特別適合大批量工作。
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