二手 SEMITOOL SRD 440 #9223322 待售
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單擊可縮放
ID: 9223322
優質的: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD)
Model no: 440S31EML
Single chamber
Maximum rotor substrate diameter: 4"
Compliant poly cabinet: FM 4910
Brushless controller: PSC-101
Quick disconnect (QD) rotor: 3"
PFA Cassette (A82M0215)
Includes:
DIW
N2
Exhaust
Power supply: 120 VAC, 60 Hz
1997 vintage.
SEMITOOL SRD 440是一種最先進的光電抗蝕劑設備，設計用於精確曝光、開發和剝離用於MEMS、半導體和光電工業的光電抗蝕劑層。它具有先進的4光束相幹可見光光源，以及傳感器和能夠精確對準和對焦控制的計算機反饋系統。四束有針對微調曝光要求的個別強度控制。此外,該軟件還包括一個屏幕保護程序模式,用於在設備處於空閑狀態時自動對準掩碼。光學單元結合了最大限度地提高透鏡校正均勻性的平場透鏡。前面板上的攝像頭可以方便地顯示口罩對準過程。SRD 440還有一個精密的晶圓定位級，兩軸兩級，保證精度和重復性。該級允許將晶片精確調整到焦點位置，保證成品上的排列模式。它還具有獨特的自動晶片加載功能,可自動捕獲和加載多達25個晶片,從而減少手動處理時間和相關錯誤。該平臺包含一個自動化的流程選擇器，可以快速選擇和計算開發時間。軟件界面還允許與工廠中的其他工具輕松集成。SEMITOOL SRD 440結合了可靠、精確的光刻機，易於維護和操作，使其成為高端研究和生產環境的完美光刻工具。它有能力處理各種過程，從詳細的微加工到大規模的生產運行。高效的操作和用戶友好的控制確保了這種光刻膠資產能夠實現更高的吞吐量和質量。
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