二手 SEMITOOL SRD-470 #293642733 待售

SEMITOOL SRD-470是業界領先的光刻設備,旨在為各種半導體晶片的曝光、開發和清潔過程提供最先進的性能。利用儲水池浴池和強大的水泵，SRD-470能夠準確、精確地輸送少量的顯影劑、沖洗後的沖洗水、光致抗蝕劑和DI水，用於生產過程。自動洗滌系統進一步提高了設備的性能，實現了精確的化學輸送和晶圓清洗。SEMITOOL SRD-470能夠處理各種晶圓幾何形狀、尺寸和材料,從薄微電路到大型復雜芯片。它包括具有單一噴嘴的獨立沖洗浴室，以實現均勻的沖洗覆蓋，而其獨特的預混合脈沖消除飛濺和頂空氣流，以增加沖洗輸送的均勻性。此外，SRD-470擁有一個智能視覺機器，跟蹤晶片的位置和運動，提高晶片吞吐量和精度。SEMITOOL SRD-470還提供了一整套精確的控制機制,旨在提供高度精確的參數,例如溫度、化學濃度、流量和其他質量控制功能,以確保晶圓的精確生產。內置的循環計時器和定時配置文件歸檔可提高流程的可重復性。安裝溫度報警器、晶片卡紙檢測器、自動清除多個IO響應、循環腳閥、熱不平衡保護和端晶片沖洗等多項功能,確保了卓越的整體可靠性。對於快速、高效的工作和無與倫比的精度，SRD-470及其各種特性使其成為半導體晶片加工應用的理想光刻工具。