二手 SEMITOOL SRD-8300 #9263224 待售

SEMITOOL SRD-8300
製造商
SEMITOOL
模型
SRD-8300
ID: 9263224
優質的: 2002
Spin Rinse Dryer (SRD) 2002 vintage.
SEMITOOL SRD-8300是一種光刻設備,設計用於處理精密和精確的均勻性小和大基板。SRD-8300采用開放式平臺設計,優化了當前流程,提供了高效的操作和直觀的可編程性。利用強大的步進電機,SEMITOOL SRD-8300提供精確的接觸對準和精確的基板與基板分離,其精確的接觸rinser和旋轉傳輸模塊。該系統為最高吞吐量提供了理想的解決方案,標準單晶圓容量可達12英寸/300 mm,而全自動過程可以通過均勻性算法和高度靈活性來實現。現場厚度監視器和全自動分配控制單元等功能可實現卓越的過程控制,確保結果一致。除了令人印象深刻的功能外,SRD-8300的直觀模式設置、流程日誌和數據分析功能還為所有經驗級別的操作員提供了一種易於使用的機器,簡化了復雜的任務。此外,該工具的伺服控制鹽浴和鈍化控制為用戶提供了超精確的操作,以滿足嚴格的規格要求。強大的性能和最小的維護使SEMITOOL SRD-8300最苛刻的流程的可靠資產。為了確保每一步的最高質量和可靠性,SRD-8300設計了一種創新的光學傳送模型,能夠提供重要的性能數據,如真空強度、曝光時間和其他參數。這些數據最終被用於最大限度地提高設備的工藝精度和統一性,並用於分析整體性能。總體而言,SEMITOOL SRD-8300是一個強大的光刻系統,提供高度的靈活性、精確的對準和出色的工藝控制。其用戶友好的界面和性能數據審查功能使其成為任何要求光刻應用中最高標準的設施的理想選擇。
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