二手 SEMITOOL SRD-8300S #9289497 待售
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SEMITOOL SRD-8300S是一種光刻加工設備,專為最高的生產率和性能而設計,使其成為生產過程中的理想工具。它利用自旋-漂洗-幹燥(SRD)工藝,在矽片或玻璃等基板上應用和去除光致抗蝕劑,以便在基板上蝕刻所需的圖樣。SRD-8300S包括噴霧模塊和旋轉式烘幹機模塊。噴霧模組使用高壓空氣在所需的基板上塗抹一層薄薄的光刻膠。然後使用自旋幹燥器模塊將光刻膠均勻地分布在整個表面上並除去多余的。自旋幹燥機可以以高達300 rpm的速度運行,允許快速可靠的光刻膠應用和去除。SEMITOOL SRD-8300S還具有全自動的過程控制系統,允許精確和可重復的處理。該裝置能夠控制光刻膠的應用和去除過程,以及基板清洗過程。此外,該機器還包含多個安全聯鎖,可幫助確保在運行工具時達到最高安全級別。SRD-8300S還具有多種基於工作流的配方,允許操作員通過幾個簡單的步驟為每個進程選擇所需的應用程序或刪除方法。資產還可以通過各種輸入/輸出接口與其他設備連接,包括RS-232、以太網和USB。這樣就可以輕松集成到現有的生產過程中。總體而言,SEMITOOL SRD-8300S是一種先進和可靠的光刻膠處理模型,它提供了精確和可重復的工藝以及生產工藝的最大正常運行時間。憑借其自動化的控制系統、多種基於工作流的配方以及廣泛的輸入/輸出接口,SRD-8300S對於那些尋求經濟高效光刻膠處理解決方案的人來說是一個絕佳的選擇。
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