二手 SEMITOOL SRD-8300S #9298776 待售
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SEMITOOL SRD-8300S是一種全自動光刻加工設備.該系統旨在將薄層的光敏材料沈積到各種基板上,以便在微電子、薄膜和其他相關行業中進一步加工。它能夠處理單面和雙面光刻過程,從而在大多數環境中獲得最佳性能。SRD-8300S具有大量真空和惰性氣體功能,可提供精確的塗層效果、更高的產率和更嚴格的膜厚度控制。SEMITOOL SRD-8300S利用兩個獨立的預編程序列控制系統,以及一個3英寸KS系列邊緣取珠器,在旋轉塗層過程中進行精確的邊緣取珠。這個單元還配備了三個標準的機器人臂配置選擇和幾個流程模塊選項,為用戶的處理需求提供自定義交鑰匙解決方案。SRD-8300S提供了幾種獨特的功能,例如完全可調節的料鬥機,它允許在PID溫度級別進行可選的料鬥控制。它還具有可編程振動平臺和材料存在監測工具,可提供更精確、更均勻的塗層分布在基板上,並使用戶能夠獲得更一致的光敏塗層。此外,資產先進的真空能力和惰性氣體大氣有助於最大限度地減少空隙和確保最小的物質浪費。SEMITOOL SRD-8300S的設計使其易於使用,其直觀的界面允許快速訪問和輕松控制所有模型組件。該設備還配備了多種數據存儲選項,使用戶能夠存儲和召回未來運行的流程配方。該系統還與SEMITOOL智能工藝模塊套件兼容,該套件能夠自動優化抗蝕劑配方。總之,SRD-8300S對於需要精密光敏處理的公司來說是一個極好的選擇。其先進的特點、穩健的設計和直觀的界面使這一單元成為微電子和薄膜行業苛刻環境的理想工具。
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