二手 SEMITOOL SRD 880 #9248598 待售

SEMITOOL SRD 880光刻設備是一個完整的集成光刻系統，設計用於高級半導體器件處理過程控制。該單元的設計和制造是為了滿足半導體光敏處理中對精度、可重復性和可靠性的最嚴格要求。該機包括一個獨特的，兩門，卷入設計提供方便進入室內維護和室內服務的腔室。該工藝室設有一個集成的旋轉/噴霧工具、多個隔離閥、一個自動快門控制器、兩個水平平衡且無汙染的表面以及一個電動負載鎖。該資產還具有超級清潔、HEPA過濾的排氣模型,以及獨立的基於配方的工藝控制器,旨在最大程度地提高產量和吞吐量。光刻膠加工是在SRD 880獨特設計的具有集成自旋噴霧特性的卷入式腔室中進行的。這樣就可以在一個批次中旋轉和噴射多個晶片，而不會影響吞吐量。該腔室還有一個獨特的隔離閥設備，有助於保持工藝腔室不受汙染。利用兩個水平平衡且無汙染的表面,系統可確保每個晶片在相同的暴露水平下進行處理。自動快門控制器設計用於精確控制晶圓曝光。它還能夠執行精確和可重復的晶圓曝光定時。快門控制器與工藝控制器配合工作，提供高水平的工藝控制和效率。過程控制器是一個基於配方的單元，可以快速準確地編程光刻膠處理。它旨在為每個晶片提供一致的結果，即使環境和加工條件發生變化。過程控制器是完全可編程的，可以設置多個過程和配方。這使得它既能實現高產又能實現高通量。SEMITOOL SRD 880光刻機為先進的光刻工藝提供精確的控制和可靠的性能.以其集成的旋轉/噴霧工具、多個隔離閥、自動快門控制器、兩個水平平衡且無汙染的表面，以及基於配方的工藝控制器；該資產有助於提高半導體器件制造產量，同時降低光刻工藝的成本和時間。