二手 SEMITOOL SRD 880F #9192489 待售
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SEMITOOL SRD 885F是一種最先進的光刻設備,旨在處理廣泛的應用。它是一個高度通用的系統,非常適合在工業、消費者和研究環境中進行清潔、塗層和圖像處理。該單元結合了高質量、精密的工程與先進的編程和自動化功能,允許對工藝參數進行精密控制。SEMITOOL SRD 880F具有一個大容量的雙晶圓進給轉塔,每次運行最多可容納80個晶圓。它有四個單獨的螺線管閥門和一個工藝氣體面板,可以更精確地控制塗層過程。使用自動化的前門,可以快速輕松地從前端或側面訪問機器。SEMITOOL SRD 885F有一個小容量的工藝室,旨在優化效率和最大限度地減少有害排放。它還采用自動濕洗工藝,總共有三個沖洗浴池,以便進行溫和有效的清潔。它利用Spin和Spray塗層來獲得最佳塗層效果,甚至跟蹤模具溫度,以確保塗層性能不會隨時間下降。SRD 880F配備了高度精確的曝光頭,可處理高度高級的多模式曝光。集成的模式生成器工具可輕松創建和執行復雜的模式幾何,而圖像數據庫服務器則以有組織的格式存儲所有與圖像相關的數據,以便於訪問。SEMITOOL SRD通過優化流程來縮短周期時間和提高資源利用率,880F與同類產品中的任何資產相媲美。它的多功能性、強大的設計和先進的自動化功能使其成為任何工業、消費者或研究環境的有吸引力的解決方案。
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