二手 SEMITOOL SRD-880S #9287266 待售

SEMITOOL SRD-880S是為晶圓處理應用而設計的先進光刻設備。該系統包括一個高精度步進器、一個濕站、兩個微調器、一個激光對準單元和一個UV熱板。步進器具有6.5英寸的工作階段,能夠轉換為8英寸的工作階段。這樣可以使晶片尺寸達到300 mm,並且能夠對晶片進行高精度對準,以用於低電流和高電流應用。該濕水站有兩個高架水箱，可裝入二次電離水、二次電離水或純凈水。此外，還有一個排水管，便於清理和處置危險液體。機器上的兩個旋轉器配置為提供快速高效的光刻處理。水平紡紗機設有抗腐蝕室，用於光刻和幹法化學，並使用高達600 psi的自旋速度，以更快的吞吐量。垂直紡紗機有兩個真空室，可用於光刻和幹燥工藝應用。兩個旋轉器還具有可調的後緣對準,以提高精度。SRD-880S上的激光對準工具用於塗層和蝕刻前的精確對準。該單元具有高精度的對準激光器、用於不同尺寸晶片的場停止轉塔，以及一系列可調整的激光波長，以更好地匹配所使用的特定光刻膠。最後，該資產包括一個UV熱板，該熱板提供高強度的遠紫外輻射，用於光致抗蝕劑的快速固化。這種紫外線熱板可調0.37瓦至1.2瓦/平方厘米，以適應各種各樣的光刻膠配方。此外,UV熱板還設計用於在操作過程中保持溫度均勻性。總體而言，SEMITOOL SRD-880S是一種提供高精度對準、快速旋轉速率和均勻紫外線固化的綜合光刻膠模型。該設備非常適合晶圓加工在低電流和高電流制造操作中的應用。