二手 SEMITOOL SRD #9198117 待售

SEMITOOL SRD是為半導體晶圓處理應用提供高分辨率測試模式而設計的光阻設備。它非常適合研究和開發新興應用,如3D互連和MEMS設備。SRD系統可以處理多達8英寸（200毫米）的晶片，並結合了高分辨率投影光刻單元、晶片級、冷熱板、抗旋塗層/幹燥、晶片加熱/冷卻以及在線計量工具。該機基於先進的投影光學器件和電動XY級進行晶圓曝光。投影光學器件具有可調透鏡工具，可以調整以提供近似和投影光刻的高分辨率圖樣。光學器件能夠產生分辨率低至0.4微米的曝光模式。SEMITOOL SRD資產中包含一個阻抗旋轉塗層/幹燥機模塊。它能夠紡制光敏溶液等化學物質，幹燥晶片表面，使晶片準備曝光。集成的晶圓加熱/冷卻模型允許在曝光期間精確控制晶圓的溫度。SRD設備還包括先進的在線計量工具，用於監測流程和確保高分辨率模式。計量工具使用光學成像、激光幹涉測量和共焦顯微鏡來測量和分析光刻過程中的曝光模式。這些工具能夠更好地控制過程,並有助於確保SEMITOOL SRD系統的最高性能。總體而言，SRD是一種通用的高分辨率光刻設備，適用於各種半導體晶圓加工應用。其投影光學、抗旋塗料/烘幹機、溫控機和直列式計量工具都有助於其高精度地制作出細節圖案。