二手 SEMITOOL SRD #9213261 待售

SEMITOOL SRD是一種光刻設備,主要用於半導體測試、制造和維修。它對集成電路基板上的厚、薄光刻膜進行精密、高速的處理。該系統可用於半導體工藝的廣泛應用，包括制圖、蝕刻、沈積、光刻和電子束書寫。SRD是一種四軸設計的全自動單元，包括晶圓升降機、鎖載室、旋轉底座和次級室。該機設有多位濕化工藝站，以優化光刻工藝結果。它配有可選的高分辨率高速攝像機,可用於檢查和調整圖案位置和尺寸。SEMITOOL SRD的鎖載室在一種機器人工具中工作，該工具可以快速傳輸晶片而不會受到不良的空氣汙染。升降機平臺可容納多達五十個晶片，並有一系列單面或雙面圖案的選項。此外,SRD還配備了板載冷卻設備（最多100kPa個）,以統一冷卻晶圓表面。即使具有較大的特征大小,這也保證了可重現的特征。SEMITOOL SRD的模型加工室采用不銹鋼制成，具有極好的重復性和重復性。其大型內飾設計，內部高度500毫米，能夠容納各種尺寸的晶圓級。其真空壓力可調低至0.0005毫巴。SRD還擁有一個標準晶圓旋轉站，轉速高達100 RPM。此外，SEMITOOL SRD還包括一個多位置濕法化工站，這對於執行濕法蝕刻和幹法蝕刻等平版印刷工藝至關重要。該單元包括用於加熱和冷卻工藝模塊的集成RT再循環設備。它還包括淋浴頭、等離子體蝕刻、濺射沈積模塊和其他清潔實驗室等幾個附加組件。最新版本的SRD是一個現代化的半導體晶圓工藝系統，將精度和效用結合在一個封裝中。它被設計為使用高強度的紫外線光源，高分辨率的樣品成像單元，一個全面的選擇過程模塊和訪問大多數過程化學。該機器功能強大,每小時可處理數千個晶圓並安全存儲數據,從而使用戶能夠簡化工作流程。