二手 SEMITOOL SRD #9292696 待售

SEMITOOL SRD是一種光刻設備，用於包括晶圓、磁盤和其他平板電子產品在內的基板的化學機械拋光或化學機械平面化（CMP）。它是一個具有集成處理功能的緊湊系統，包括一個加工室、拋光墊和拋光盤。該單元可以加工多種材料，如矽、砷化氙、碳化矽、聚酰亞胺。SRD有一個自動化的晶圓處理機，具有基於配方的編程允許高度的過程控制。它設計用於處理範圍從8到300 mm的晶圓尺寸，可調的工藝室高度從4「到45」。SEMITOOL SRD有兩個主要組成部分：多磁盤機制（MDM）和平面化過程室（PPC）。MDM利用速度可調的多磁盤組件在基板上執行拋光過程。這包括嵌入金剛石的柔性拋光墊，以及旨在提高工藝性能的各種化學材料。PPC是拋光操作發生的區域。它包括一個工藝室，蓋子，和預和後拋光沖洗系統。此外，它還提供了包括流速、溫度、泥漿速度、壓力等過程參數的精確控制。SRD的主要特點是它的變速拋光，這使得拋光工藝可以針對各種各樣的底物和化學物質進行優化。SEMITOOL SRD還具有維護清潔拋光環境的手動清洗功能和用於日常維護的晶圓清洗工具。資產可以通過分布式控制模型進行遠程操作，從而可以遠程跟蹤和監視流程流程和進度。SRD由於其工藝靈活性和先進的工藝異常實時性而成為CMP行業的熱門選擇。該設備設計為防止缺陷，提供高度的統一性和控制性，確保產品質量一致。SEMITOOL SRD是尋找具有可靠性能和靈活工藝能力的化學機械拋光系統的人的絕佳選擇。