二手 SEMITOOL SRD #9292751 待售

SEMITOOL SRD（Spin Rinse Dryer）是一種自動化晶圓處理設備，用於去除和更換光刻膠。光致抗蝕劑是一種光敏材料，用於制造半導體器件，通常在光刻之後。SRD系統旨在提高工藝效率和產量,同時減少加工和循環時間.SEMITOOL SRD單元由四個不同的部分組成：自旋沖洗站、烘幹機站、光致抗蝕劑站和基板分期站。自旋沖洗站將晶片置於自旋浴中，攪拌以除去光致抗蝕劑。烘幹機站采用熱氣相結合的方式，快速安全地清除晶圓表面殘留的液體。光刻膠站用於下一個工藝步驟應用新鮮的光刻膠。最後，基板分期站是一個封閉的環境，用於在過程中標記、轉移和儲存基板。SRD機具有高度的可調性和適應性，能夠處理不同的基材尺寸和類型，包括矽和砷。此外,SEMITOOL SRD工具被設計為集成到工廠中的其他系統中,從而允許組件盡可能高效地在整個制造過程中移動。整個過程的自動化，包括自旋沖洗操作和烘幹機，使得在過程中快速移動晶片成為可能，同時仍能提供高質量的結果。SRD資產易於使用,並提供多種功能來自定義流程。例如,SEMITOOL SRD可以針對特定的產品要求和工藝設置（如晶圓直徑、速度、旋轉角度、噴霧類型等）進行定制,從而使用戶能夠針對其特定應用優化工藝。SRD的自動化還降低了操作員參與的要求，使模型能夠與工廠中的其他系統集成。總之，SEMITOOL SRD是一種通用、自動化的光刻設備，旨在提高工藝效率和產量，同時減少周期和工藝時間。它提供了一系列功能,使用戶能夠為其特定應用程序自定義流程,並且可以輕松集成到現有晶圓處理系統中。