二手 SEMITOOL SST-202A #9265775 待售

SEMITOOL SST-202A是為光刻應用中的精密圖樣設計的光刻設備。該系統提供了廣泛的工藝解決方案，允許各種基板的高效和準確的陣列。SST-202A包括用於在高保真度基板上生產結構的光刻軌跡、用於功率控制的自動單元控制器（ASC）和用於精確應用光致抗蝕劑的旋轉塗層。SEMITOOL SST-202A還包括一個可選的等離子體灰光機、曝光單元和升空單元，以進一步控制陣列制作過程。SST-202A能夠加工直徑不超過8英寸的固體基板,以及MEMS、OLED、III-V化合物和電源設備等稀薄基板。該機采用薄膜厚度監測器，以確保在旋轉塗層過程中均勻的光敏塗層。然後將光致抗蝕劑暴露在紫外線下進行圖樣化。SEMITOOL SST-202A的ASC具有實時控制過程的高級功能。它有一個跟蹤流程參數的數據記錄工具，以及最大效率的分步指令。ASC還允許對各種光刻膠和底物的曝光能量進行自動校準。可選的等離子體粉碎器可以有效地從圖樣化的基材中去除光致抗蝕劑殘留物和其他汙染物。Asher使用射頻源在真空室內創建等離子體，從而在基板上形成均勻的蝕刻輪廓。可選的紫外線曝光裝置提供了在基板上精確曝光圖樣的功能。該單元有一個變頻燈，提供10毫秒到10秒的可調曝光時間。可選的升降單元可用於在圖樣完成後從基板上去除光刻膠。使用帶惰性氣體供應的加熱板，以最小程度地損壞基板，將光刻膠從光刻膠中取出。總體而言，SST-202A光刻資產為各種基板的光刻加工提供了一個平臺，具有很高的精度和可重復性。該模型配備了先進的功能，以確保為各種應用提供高效和精確的基板圖樣。