二手 SEMITOOL SST 2061D #142241 待售

SEMITOOL SST 2061D是一種光刻設備,旨在幫助用戶利用其實施的光刻工藝。它是一個緊湊、堅固和用戶友好的系統，適用於各種晶圓尺寸和工藝，以滿足先進的微加工光刻要求。該裝置采用專利設計，確保各種復雜基板的加工準確高效。它還支持多抵抗集成,為用戶提供更大的靈活性和更廣泛的流程窗口。該機具有較高的邊緣清晰度,同時減少殘留和顆粒形成.SST 2061D的最大腔室容積為363升，可容納200毫米晶圓。配備配發工具、光源、溫度控制器。關鍵部件Pattern Generator裝在光學腔內，能夠以高達1600 RPM的速度旋轉晶片。晶圓加載到多級Ultima Gold級，然後暴露在光源下。低失真的Lambda函數發生器和光致抗蝕劑分配資產然後協同工作，產生精確定義的模式。該模型旨在通過其開放式腔室設計、CleanPlus Technology過濾設備和穩定的基板溫度，由集成冷卻器控制，為用戶提供改進的光刻膠工藝性能。該系統還具有基於清潔室的計算機控制器和圖形用戶界面（GUI）。SEMITOOL SST 2061D適用於從簡單到復雜的各種光刻過程。它提供了先進的技術，以創建更好的邊緣清晰度，更好的場邊界控制和縮小特征尺寸，所有的低粒子形成。它還能夠進行低溫處理以增強材料兼容性。總體而言,SST 2061D是一個先進的光刻裝置,它集成了最新技術以提供卓越的工藝性能。它具有高性能設計、易於使用的界面和耐用的結構,是幫助實現理想光刻效果的強大工具。