二手 SEMITOOL SST 305MI #9165782 待售

SEMITOOL SST 305MI光刻系統（PRS）是開發高質量、高精度微電子器件的強大而可靠的平臺。這種光致抗蝕劑設備被設計為一種經濟、全面服務的處理解決方案，能夠實現從蒸發前/光刻到蝕刻後/批準的過程。SST 305MI是具有超低溫能力的大容量批處理室。它具有50升的腔室體積，可以加工尺寸達325mm的基板。它可以與多種原位處理能力一起使用，如等離子體蝕刻、冷凝/蒸發或濺射沈積。利用這些先進的工具，SEMITOOL SST 305MI提供了一種全面、低真空、高產量的光刻膠工藝。SST 305MI還具有一個獲得專利的用戶界面,它對工藝的各個方面提供了強大的控制,包括基材尺寸、光刻膠類型和塗層參數。這個功能強大的系統允許用戶自定義光刻膠工藝序列和參數，以滿足每個特定設備的精確處理要求。SEMITOOL SST 305 MI的硬件還設計用於最大程度的可管理性,具有用戶友好的數據輸入/輸出和自動化的過程控制單元。該機還配備了一臺用於遠程監控的OPC服務器，提供了對流程的嚴密實時控制。SST 305 MI的軟件為用戶提供了從PRS中獲得最大收益所需的一切。它允許用戶設置和保存流程序列和參數，還包括分析和後流程選項。該工具還具有全面的OPC Server,可用於創建具有流程分析、警報通知和數據采集等功能的應用程序。SEMITOOL SST 305MI能夠快速高效地生產高產量、高精度和重復性的微電子器件。適用於多種應用，包括後端線處理、陣列處理和晶圓級封裝。SST 305MI是一種強大的光刻資產,易於使用,提供可靠、經濟高效的結果。