二手 SEMITOOL SST 421-280 #293657531 待售
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單擊可縮放
ID: 293657531
晶圓大小: 8"
Spray solvent system, 8"
Rotor
Chamber
Compressed air
Controller
Valves
Sensors
Tubes
Pipes
Process chamber
Tanks
(2) Heated tanks (EKC, NMP or similar)
(2) Unheated tanks (IPA or similar)
(4) Trebor pumps
Rotor, 8"
Bolt quick disconnect
Carrier, P/N: A192-81M-0215
Power supply: 400 V.
SEMITOOL SST 421-280是一種用於從半導體晶圓中剝離光阻的全自動光刻帶設備。它具有創新技術,先進的機械處理系統,並且適合廣泛的光刻帶工藝。該系統旨在提高吞吐量,減少循環時間,生產出優越的光刻膠帶。SEMITOOL SST-421-280配備了高性能的X-Y-Z傳輸頭,可以在其工作區內快速高效地移動。這種先進的機器人臂能夠選擇、抓取和放置不同的光刻晶片進行加工到生產線上。該單元還利用了一個短期內存-映射機器,能夠存儲從角度位置精確旋轉基板到平面所需的特定數據。SST 421-280擁有強大的加熱工具,最高溫度為280 °C,可提供各種半導體材料的精確而均勻的光刻帶工藝。它還具有增強的流體管理資產,旨在在整個條帶序列中有效地管理剝離機解決方案,幫助保持最佳的條帶速率並提高產量。該模型還包括一個精確的壓力控制機制,這有助於保持晶圓和抗蝕劑之間的適當接觸的一致條帶。還提供了可選的Autoprofiler選項,可幫助監控條帶均勻性並根據需要進行實時調整。最後,SST-421-280提供了一個直觀的用戶界面,允許用戶從一個中央控制臺輕松訪問、配置和監視其進程。該設備還包括若幹診斷工具,使用戶能夠跟蹤光刻膠條的進展情況。總體而言,SEMITOOL SST 421-280是一種先進的光刻帶系統,旨在提供統一可靠的結果。其用戶友好的界面、強大的加熱能力和精確的控制系統,使其成為工業半導體生產環境的理想選擇。
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