二手 SEMITOOL SST 421-280 #293734246 待售

SEMITOOL SST 421-280是一種光阻處理設備，設計用於支持所有用於集成電路制造的濕處理任務。該系統提供了廣泛的基材材料，包括矽晶片、砷化氙和矽芯片。以低溫補償為主要特點，實現了電位恒定控制、低功率處理。SEMITOOL SST-421-280為微芯片組件系統的精確光刻處理提供了一系列功能。它有幾個精密濕式站，包括預處理、後處理沖洗和後滾筒。它還具有集成的可編程旋轉速度控制和基板加熱機.該工具具有靈活的標準工藝配置，最多有二十四個基板負載站，有兩種不同的載波尺寸。該資產具有直觀的觸摸屏控制模型，能夠存儲多達128個配方，並且可以運行多達16個單獨的光刻過程。SST 421-280還具有反滲透（RO）功能,為所有濕法過程提供純凈水。它配有安全關機設備，在溫度或化學流量不規則的情況下自動關閉加工線。它配備了可選的He2O3O2氣體混合系統，以獲得更高質量的加工結果。該裝置設計具有多種安全功能，包括廣泛的警報和安全聯鎖。它配備了方便的訪問、分隔和部分封閉的實驗室框架，具有優越的人體工程學，以舒適的操作。該機還設有可堆叠幹燥站，以提高基材密度，從而提高線路運行效率。SST-421-280的設計符合微電子處理的過程控制標準和條例。它通過使用一個集成了可堆疊的HEPA過濾器和洗滌系統的排氣工具，符合所有相關的汙染控制規定。該資產還提供在線跟蹤和監控每個流程參數以實現完整的流程控制。總體而言，SEMITOOL SST 421-280是微芯片光刻加工的絕佳選擇。它具有高效、精確和可靠的處理所需的所有功能。是微電子生產試驗的理想選擇。